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    用于襯底的熱處理的裝置、用于該裝置的載體和襯底支撐元件

    775   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:12:17
    用于襯底的熱處理的已知裝置具有加熱設備和設有用于襯底的支撐表面的載體。在已知裝置的基礎上，根據本發明而建議一種準許高襯底吞吐量的裝置，因為載體的至少部分由包括無定形基質成分和以半導體材料的形式的附加成分的復合材料產生，其中將作為加熱設備的部分并且由當電流經過它時生成熱量的導電電阻材料制成的導體路徑施加于復合材料的表面。
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