本發明公開了一種硼硅酸鹽玻璃及球形氧化鋁低溫共燒陶瓷生瓷帶及其制備方法,該生瓷帶由玻璃-陶瓷復合材料和流延介質組成,其中玻璃-陶瓷復合材料是由硼硅酸鹽玻璃、球形氧化鋁組成;流延介質是由混合溶劑、單體粘結劑、塑性劑和分散劑組成。本發明制備的低溫共燒陶瓷生帶表面平整、光滑,生帶固含量可達88~92wt%,燒成收縮率為9~11%,各個方向燒結收縮率差異小,能在850℃實現與Au、Ag等低熔點金屬布線共燒。本發明提供的生料帶燒結瓷體具有優良的介電性能:10GHz下,介電常數(εr)為7~8,介質損耗(tanδ)小于2×10-3,并有效解決了傳統LTCC生瓷帶燒結收縮的各向異性問題。
聲明:
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