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    納米粒子-聚合物抗蝕劑

    958   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:12:57
    一種復合材料，其是包含以下各者的摻和物：包含核心和圍繞所述核心的涂層的納米粒子；和聚合物，其中所述納米粒子的所述涂層包含配體，其中所述配體是被取代或未被取代的C1?C16羧酸或其鹽、被取代或未被取代的C1?C16氨基酸或其鹽、被取代或未被取代的膦酸C1?C16二烷酯或其組合；并且其中所述聚合物是以下的聚合產物：包含可聚合基團的光酸產生劑；至少一種不飽和單體，其不同于所述包含可聚合基團的光酸產生劑；和式(I)的鏈轉移劑；其中：Z是y價的C1?20有機基團，x是0或1，并且Rd是被取代或未被取代的C1?20烷基、C3?20環烷基、C6?20芳基或C7?20芳烷基。
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    復合材料
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