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    原子力顯微鏡探針及其制備方法

    838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:12:58
    本發明公開了一種原子力顯微鏡探針及其制備方法，所述探針為圓錐體結構，且所述探針由復合材料制得，所述復合材料的原料組分及各組分的質量份如下：對紫外光敏感的聚合物：80份~90份；金顆粒：5份~10份；鎳顆粒：5份~10份。本發明提供的一種原子力顯微鏡探針及其制備方法，既可以增加探針韌性，又可以保證其硬度，從而延長探針壽命。同時該探針具有高深寬比，可以探測相應的高深寬比溝槽。
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