本發明涉及一種網絡狀分枝氮化硅單晶納米結構的制備方法,屬于材料制備技術領域。所述材料為高純度的網絡狀分枝Α-氮化硅納米結構。本發明采用熱解有機前驅體方法在鍍有金屬催化劑的基片上合成網絡狀分枝氮化硅單晶納米結構。含有步驟:(1)高含硅氮含量聚硅氮烷在160-300℃下的低溫交聯固化;(2)交聯固化后的非晶固體在高耐磨器具中高能球磨粉碎;(3)高能球磨后得到的前驅體粉末在保護氣氛下的快速高溫熱解、蒸發和在鍍有金屬催化劑薄膜的基片上的沉積。所述方法,蒸發源組成可控且可調,工藝和設備簡單、成本低廉,所得網絡狀分枝結構產量大、純度高,可用作高性能納米復合材料中的增強增韌劑,同時還可于制作納電子器件。
聲明:
“高純高產率網絡狀分枝氮化硅單晶納米結構的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)