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    智能溫控加熱保溫材料及其溫控系統

    1158   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:12:59
    本發明屬于半導體領域所應用的加熱保溫材料技術領域，具體涉及一種智能溫控加熱保溫材料及其溫控系統，所述智能溫控加熱保溫材料包括形狀記憶合金層、隔熱復合材料層以及絕緣外套，所述記憶合金層和隔熱復合材料層中間設置溫度傳感器，在溫控系統的控制下，傳感器將檢測到的溫度傳遞給控制器，控制器將檢測溫度與設定溫度進行比對，從而通過調整驅動電路電流的方向和大小來使熱電制冷器對智能溫控加熱保溫材料進行加熱或者制冷，達到對工藝管路的溫度控制，本發明將加熱帶和保溫套制成一體結構，既能提高人力物力的利用率，同時還能使反應工藝正常進行，保證薄膜產品的質量，結構簡單、合理、易于在半導體薄膜沉積應用及制備技術領域推廣。
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