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    鋁材表面的類金剛石覆膜改性方法及其裝置

    933   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:13:39
    本發明公開了鋁材表面的類金剛石覆膜改性方 法及其裝置。裝置包括絕緣體反應室，反應室與化學氣相沉積 的供氣系統及真空系統相連通，在反應室內有陶瓷圍成的封閉 室和兩塊上下平行的電極，其中上電極位于封閉室中，其下表 面緊貼封閉室的底板面，與等離子體激發脈沖電源相連，下電 極接地并固定在封閉室外的加熱器上，供氣管的噴嘴位于兩平 行電極間。采用該裝置以 C2H6、H2、Ar組成的混合氣體 為反應源氣體，在鋁材表面涂覆類金剛石(DLC)薄膜。本發明 工藝簡單、成本低，實現了在鋁材表面涂覆類金剛石薄膜，大 大提高了Al/DLC復合材料的表面硬度、耐腐蝕性和電絕緣性 等綜合性能。且成膜速度快，膜厚可達4－6μm而不脫落，結 合牢固。
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    “鋁材表面的類金剛石覆膜改性方法及其裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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