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    散熱板、半導體裝置和散熱板的制造方法

    1132   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:16:22
    本發明提供散熱特性優異且在冷熱循環負荷時能夠抑制熱應力作用于半導體元件等發熱體上的散熱板、使用該散熱板的半導體裝置和該散熱板的制造方法。本發明的散熱板(30)用于擴散從所搭載的發熱體(3)產生的熱，其特征在于，具備在碳質部件中填充金屬材料的金屬基復合材料構成的板主體(31)和形成在該板主體(31)的至少一側板面的金屬表層(32，33)，構成所述板主體的金屬基復合材料通過在碳質部件中含浸熔融的金屬材料而形成，金屬表層(32，33)通過使金屬粉末碰撞在板主體(31)的所述板面而形成。
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