本發明涉及一種宏微復合壓電驅動膜,包括:樹脂基質、納米顆粒、壓電材料顆粒,特點在于還包括導體顆粒,且所述復合壓電驅動膜是一矩形薄片結構,其中:所述樹脂基質中均勻分布有導電性良好的納米顆粒,且包括壓電復合材料層、第一導電層和第二導電層;所述第一導電層和第二導電層中均勻分布有導體顆粒,布置在所述壓電復合材料層兩側外表面,且所述第一導電層厚度小于第二導電層厚度??刹捎迷霾闹圃煲淮纬尚?,便于微型化,在微機械、微流體驅動以及微小機器人等方面具有廣泛的應用前景。
聲明:
“宏微復合壓電驅動膜” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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