一種具有高介電常數復合介質膜鋁電極箔的制備方法,屬于電子材料技術領域。本發明在溶膠-凝膠法制備的鈦酸鋇體系中添加一定比例低溫液相法制備的SBA材料組成高介電復合材料,然后將鋁腐蝕箔浸漬于該高介電復合材料后進行高溫熱處理,最后通過陽極氧化在鋁腐蝕箔表面生長高介電常數復合介質膜。由于鈦酸鋇與SBA材料的介電常數都比鋁陽極氧化膜高,并且SBA的引入能有效控制鈦酸鋇在復合介質膜中的成分分布狀態,對高介電相的介電性能起穩定作用,使得鈦酸鋇在復合介質膜中充分發揮其高介電性能,有效提高了鋁電極箔的比容。本發明工藝簡單易控,可與鋁電極箔腐蝕、化成工藝生產線實現聯動生產,所制備的鋁化成箔比容與傳統工藝相比在低壓段有約40%的提高。
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