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    鐵電/鐵磁兩相復合薄膜及其制備方法

    923   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:20:39
    本發明公開的鐵電/鐵磁兩相復合薄膜是在Si基 板上原位生成的鐵電相和鐵磁相兩相復合薄膜，其中鐵電相為 PbTiO3相，鐵磁相為 NiFe2O4相。其制備方法：以醋酸鉛，鈦酸丁酯，醋酸鎳和硝酸 鐵為溶質，乙酸和乙二醇甲醚為溶劑配制溶膠先驅體。然后用 浸漬提拉法在Si基板上鍍膜，在不同溫度下熱處理。本發明工 藝簡單，成本低廉；用sol－gel法原位形成鐵電/鐵磁相復合材 料可以使兩相在分子尺度上均勻復合，大大增加接觸面積，使 磁電系數更高；sol－gel法原位鐵電鐵磁薄膜的制備技術可與 半導體集成電路技術相兼容，使得開發集半導體大規模集成電 路與鐵電鐵磁復合薄膜諸功能于一體的多功能電路、器件和系 統具有更好的應用前景。
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