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    用于重摻硅單晶制造的熱系統

    860   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:23:08
    本實用新型涉及一種用于重摻硅單晶制造的熱系統,包括上保溫筒、下保溫筒、底盤保溫層、支撐蓋、大蓋和導流筒構成,上保溫筒、下保溫筒和底盤保溫層采用新型復合隔熱材料;復合隔熱材料為碳氈和石墨硬氈層疊而成的多層材料,且在其內表面涂覆有一層光亮的鉬金屬反射層;支撐蓋的材料為石墨硬氈;大蓋由石墨和石墨硬氈的復合材料制成,其復合材料下層為石墨硬氈,本實用新型解決了重摻硅單晶拉制過程中由于溫度波動而引起的組分過冷和斷苞難題,提高了重摻砷單晶軸向電阻率均勻性。
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    聲明：
    “用于重摻硅單晶制造的熱系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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