本發明提供一種TiO2?Ti3C2Tx復合薄膜氣體傳感器及其制備方法和用途,包括TiO2?Ti3C2Tx復合薄膜氣體傳感元件,所述TiO2?Ti3C2Tx復合薄膜氣體傳感元件包括具有氧化鋁陶瓷基底層的叉指電極和TiO2?Ti3C2Tx敏感材料層,TiO2?Ti3C2Tx敏感材料涂覆在所述叉指電極表面,所述的TiO2?Ti3C2Tx敏感材料層通過在二維Ti3C2Tx納米材料上原位生長TiO2納米顆粒所制得的。本發明以二維Ti3C2本身為鈦源,通過一步水熱法合成了具有規則形貌的TiO2?Ti3C2Tx納米復合材料,制備過程較環保簡單,是一種設備投資小,工藝流程簡單的二維半導體制備方案。本發明的TiO2?Ti3C2Tx傳感器,由于材料間有效的協同作用,TiO2?Ti3C2Tx傳感器對測試氣體的氣敏性能均表現出增強的響應。
聲明:
“TiO2-Ti3C2Tx復合薄膜氣體傳感器及其制備方法和用途” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)