本發明公開了一種鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法,屬于金屬表面處理技術領域。本發明鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法,采用等離子體物理濺射氣相沉積技術,在濺射鍍鈦過程中加熱,加熱溫度控制為50-450℃,優選加熱溫度為100-400℃,更優選250℃。另外,上述鐵或不銹鋼表面鍍鈦膜的方法中,濺射鍍鈦過程中還可在基底施加脈沖偏壓,基底脈沖偏壓為60-280V,優選60-240V,更優選60-120V。利用本發明方法,可制得高耐腐蝕、高結合力的鍍鈦的不銹鋼基復合材料;制備的薄膜均勻致密,薄膜與基底的結合良好。
聲明:
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