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    研磨用組合物、研磨方法以及硬脆材料基板的制造方法

    955   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:44:06
    本發明涉及一種研磨用組合物，其特征在于，其用于研磨包含金屬或半金屬的氧化物或者它們的復合材料的研磨對象物的表面，且至少含有水和二氧化硅，二氧化硅包含粒徑為20nm以上且70nm以下的小粒徑二氧化硅和粒徑為100nm以上且200nm以下的大粒徑二氧化硅，小粒徑二氧化硅在前述研磨用組合物中含有2質量％以上，大粒徑二氧化硅在研磨用組合物中含有2質量％以上，大粒徑二氧化硅的平均粒徑除以小粒徑二氧化硅的平均粒徑的值為2以上。
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