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    結構功能一體化柔性壓力傳感器及其制作方法

    1070   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:44:46
    本發明公開了一種結構功能一體化柔性壓力傳感器及其制作方法，包括柔性基底，柔性基底內設有空間互聯導電網絡；液態金屬或液態金屬復合材料，填充在空間互聯導電網絡中；兩個電極，嵌入柔性基底并分別連接空間互聯導電網絡的上層和下層。制備方法如下：根據壓力范圍設計柔性壓力傳感器結構并建模；根據建模利用3D打印來加工制造柔性基底；將柔性基底浸入裝有液態金屬的容器中；將容器放入真空干燥箱中，抽真空至?0.1MPa并保持10min?20min；打開真空箱閥門使真空箱內部與大氣壓連通，并保持10min?20min；待液態金屬填充滿空間互聯導電網絡后，將電極引線插入柔性基底的上下電極入口處并固化密封。本發明具有靈敏度高、工藝適用范圍廣，加工方便的優點。
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