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    高K柵介質材料及其制備方法

    903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:45:23
    本發明公開了一種高k柵介質材料及其制備方法，屬于半導體 技術領域，尤其涉及金屬氧化物半導體場效應晶體管(MOSFET)的 應用領域，這種高k柵介質材料為氧化鉺-氧化鋁(Er2O3-Al2O3， ErAlO)復合材料，采用射頻磁控濺射制備方法，濺射靶為Er2O3和 Al2O3混合陶瓷靶，在P型Si(100)襯底上制備得到ErAlO非晶柵介質 復合氧化物薄膜，經檢測，本發明的ErAlO薄膜具有良好的熱穩定 性、良好的平整度和低的漏電流密度，可取代SiO2成為一種新型高k 柵介質材料。
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    “高K柵介質材料及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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