提供用于處理物品的系統、設備和方法。該系統包括用于合成、預處理、進行氣相涂層過程和以粉末和固體或多孔工件的形式對物品進行后處理的子系統。該設備允許氣相合成、處理和沉積過程以高效率和高總吞吐量進行。該方法包括將固體、液體或氣體轉化為氣體和固體流,這些流可以用或不用處理和/或涂層步驟分離或交換,并為特定應用生產優化的復合材料。
聲明:
“合成、功能化、表面處理和/或封裝粉末的制造工藝及其應用” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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