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    氣相沉積方法

    776   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
    2023-03-18 17:46:48
    本發明公開了一種氣相沉積方法,包括以下步驟:對參與沉積反應的原料進行加熱,直至成為氣相化學物質;將所述氣相化學物質引進放置好待加工產品的沉積室內進行沉積反應;旋轉所述沉積室內的所述待加工產品。從上述的技術方案可以看出,本發明實施例提供的氣相沉積方法,在對沉積室內的待加工產品進行氣相沉積時,通過令待加工產品在沉積室內進行轉動,從而對沉積室內的氣相進行一定程度的攪拌,令產品在沉積室內邊轉動邊進行氣相沉積,因此,有利于最終成品的沉積均勻性,保證產品質量的一致性。從而,采用上述氣相沉積方法能夠得到均勻材質的氣相沉積成品,有效解決了目前大型碳-碳復合材料的化學沉積生產制造困難的難題。
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