本發明涉及一種獨立式高溫超導薄膜的制備方法,具體包括以下步驟:(1)取襯底,在襯底上采用Sr3Al2O6陶瓷靶材沉積犧牲層,所述犧牲層的材質為Sr3Al2O6;(2)采用GdBa2Cu3O7陶瓷靶材繼續在犧牲層上沉積高溫超導薄膜,得到襯底/SAO/GBCO復合結構,所述高溫超導薄膜的材質為GdBa2Cu3O7?x;(3)沉積完成后,將步驟(2)得到的襯底/SAO/GBCO復合結構置于純氧中進行吸氧處理,使高溫超導薄膜充分吸氧;(4)吸氧完成后,取出襯底/SAO/GBCO復合結構浸入水中,待犧牲層溶解后高溫超導薄膜從襯底上釋放,即得到獨立式高溫超導薄膜。與現有技術相比,本發明制得的高溫超導薄膜不僅為獨立式且結構良好,有機會結合到各種復合材料結構中,拓展了應用范圍,降低了應用成本。
聲明:
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