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    大型化學氣相沉積爐雙區加熱體

    1206   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 17:58:25
    本實用新型涉及化學氣相沉積爐技術領域，尤其是一種大型化學氣相沉積爐雙區加熱體，包含兩個相互獨立的加熱體一和加熱體二，所述加熱體一呈圓柱形環繞爐腔，所述加熱體二呈圓盤形，位于爐腔底部，本實用新型的有益效果是，加熱體一環繞爐腔，提供較大的加熱面積，而爐腔底部通過加熱體二輔助加熱，從而避免爐腔中心部位溫度低，保證大型沉積爐溫度的均勻性，從而確保爐體中炭/炭復合材料的沉積效果。
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    聲明：
    “大型化學氣相沉積爐雙區加熱體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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