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    內置反應管分壓式化學氣相沉滲透鍍膜裝置

    1094   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 18:03:16
    本實用新型公開了一種內置反應管分壓式化學氣相沉滲透鍍膜裝置，包括雙層石英管，雙層石英管包括外層石英管（1）和內層石英管（2），所述雙層石英管首端以第一管路（24）連接氬氣氣源（14），所述雙層石英管末端以第二管路（22）連接真空泵（20），其特征在于，雙層石英管從首端到末端依次包括等離子體反應區、第一加熱區和第二加熱區，內層石英管（2）和外層石英管（1）首端對齊，內層石英管（2）末端延伸至第二加熱區，所述等離子體反應區于外層石英管（1）外設置有等離子極柵（9），等離子極柵（9）連接射頻電源（10）。該裝置可以有效地在陶瓷基質復合材料內部形成多功能涂層，為過濾器提供高剛性和良好的耐化學性。
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    聲明：
    “內置反應管分壓式化學氣相沉滲透鍍膜裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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