本發明公開了屬于光伏新能源材料技術領域的一種連續制備銅銦鎵硒硫太陽能電池吸收層的工藝。首先制備CuInGa合金預制膜,再采用連續式硒化硫化爐對CuInGa合金預制膜進行硒化硫化。采用磁控濺射的方法制備CuInGa合金預制膜,實現了大面積、成分均勻的薄膜的制備;采用低毒性的固態硒源、硫源制備CIGSeS/CIGSe復合薄膜,避免使用劇毒硒源,提高了實驗和生產的安全性;采用連續的硒化硫化工藝制備復合薄膜,提高了吸收層的質量,制備出具備S成分梯度分布的CIGSeS/CIGSe復合薄膜,形成沿厚度方向具有禁帶梯度分布的吸收層,提高了對太陽光譜中能量的吸收,顯著改善了CISe系太陽能電池的光電轉換效率。
聲明:
“連續制備銅銦鎵硒硫太陽能電池吸收層的工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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