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    鈮酸鋰光波導及通過鈦擴散和VTE制備近化學計量比鈮酸鋰光波導的方法

    743   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:48:33
    本發明涉及光學器件技術領域，尤其涉及一種鈮酸鋰光波導及通過鈦擴散和VTE制備近化學計量比鈮酸鋰光波導的方法，包括基底以及位于所述基底上的波導層，所述基底采用鈮酸鋰晶體，所述波導層位于所述鈮酸鋰晶體的+z面,條波到的方向是鈮酸鋰晶體的y方向，在所述基底上制備波導層采用的是光刻工藝。所制備的光波導性能優良，損耗小，能夠在各種光學研究中起到良好的作用，對鈦擴散后的鈮酸鋰晶體采用富鋰氣相輸運平衡處理，達到近化學計量比（NS，[Li]/[Nb]>99%）。近化學計量比鈮酸鋰晶體具有很多更加優異的性能：晶體缺陷少，光學均勻性好，具有更強的電光和非線性效應。鈦擴散光波導具有波導性能優良，且損耗較小等優點。
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    “鈮酸鋰光波導及通過鈦擴散和VTE制備近化學計量比鈮酸鋰光波導的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    加工技術
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