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    寬帶溫度不敏感和低色散的鈮酸鋰光波導結構及其應用

    725   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 20:59:46
    本發明提供一種寬帶溫度不敏感和低色散的鈮酸鋰光波導結構，包括鈮酸鋰平板層，所述鈮酸鋰平板層上面設置有條狀鈮酸鋰層；平板層和條狀層鈮酸鋰上面有TiO2覆蓋層；平板層下面是SiO2襯底層；本發明提出了利用具有負熱光系數的TiO2覆蓋到刻蝕的鈮酸鋰芯片上獲得對溫度不敏感的寬帶低色散光波導，該結構能夠加工成各種集成光子器件，可以極大提升器件性能。
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