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    使用至多一個金屬鋰沉積工位形成電致變色疊堆

    1023   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:01:36
    本公開描述了使用至多一個金屬鋰沉積工位形成電致變色疊堆的各種方法。在一些方面，一種方法可包括僅在電致變色疊堆的電致變色對電極內沉積金屬鋰。在一些方面，一種方法可包括使用含鋰陶瓷對電極靶來形成電致變色對電極，以及僅在所述電致變色疊堆的電致變色電極內或上方沉積金屬鋰。在一些實施例中，一種方法可包括使用含鋰陶瓷電極靶，以及任選地另外沉積金屬鋰以將移動鋰添加到所述電致變色疊堆。在一些實施例中，一種方法可包括使用單個金屬鋰沉積工位來在離子導電層和所述電致變色疊堆的電致變色電極之間沉積金屬鋰。
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