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    > 鋁酸鋰晶片的拋光方法

    鋁酸鋰晶片的拋光方法

    674   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:03:48
    一種鋁酸鋰晶片的拋光方法,包括下列步驟:將提拉法生長的鋁酸鋰晶體,用內圓切割機將其切割成一定厚度的晶片;將此晶片放入濃度為78-80%的鹽酸或者硝酸中,升溫至80-100℃,保溫15-30分鐘,取出用氮氣吹干,用大視場顯微鏡觀察晶片正反面腐蝕坑的情況,選擇腐蝕坑少的一面作為下一步的拋光面;將晶片的待拋光面放在膠盤上,首先選用氧化鋁粉對其進行粗磨,粗拋,達到表面平均粗糙度為5-10nm的晶面;對晶面進行精拋,用pH=8-9的SiO2拋光液,拋光時間為1-3小時,獲得表面平均粗糙度為1-2nm的晶面;采用中性金剛砂液,對此晶面繼續拋光,拋光時間1.5-2.5小時,可以得到表面平均粗糙度優于0.2nm的晶面的鋁酸鋰晶片。
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    “鋁酸鋰晶片的拋光方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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