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    鈮酸鋰光波導器件及其制備方法

    901   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:03:49
    本發明涉及一種鈮酸鋰光波導器件的制備方法，屬于光通信技術領域。本發明引入新的包層結構，通過離子注入、旋涂BCB、鍵合、退火等工藝獲得微米量級的鈮酸鋰薄膜光波導器件，工藝上利于脊型波導的制備，并且最終制備的光波導有效減少了傳輸損耗，增大光的束縛性；本發明選用BCB作為鍵合介質材料，常溫下作為粘合劑，能夠將鈮酸鋰薄膜與襯底有效結合在一起，退火后BCB固化，并作為波導包層，后續對鈮酸鋰薄膜的掩膜刻蝕工藝簡便，也不會對鈮酸鋰薄膜造成損壞；鈮酸鋰的光折射率為2.2，大于BCB的折射率1.5并大于空氣的折射率1，可以將光很好的約束在波導中，從而不需要進行質子交換即可實現優異的性能。
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