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    基于鈮酸鋰薄膜的光電器件及其制備方法

    950   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:04:24
    本申請提供一種基于鈮酸鋰薄膜的光電器件的制備方法，包括如下步驟：在鈮酸鋰薄膜上的涂布刻蝕圖案中轉層；對所述刻蝕圖案中轉層進行光刻、顯影，得到要制作的波導的圖案；繼續刻蝕，在所述鈮酸鋰薄膜刻蝕出所述波導的圖案。通過該制備方法制得的光電器件具有光傳輸一致性好，損耗低，集成度高的優點。本申請還提供一種基于鈮酸鋰薄膜的光電器件。
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    聲明：
    “基于鈮酸鋰薄膜的光電器件及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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