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    鋰氮共摻雜金剛石薄膜的制備方法

    765   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:05:42
    本發明公開了一種鋰氮共摻雜金剛石薄膜的制備方法。在預先沉積有金剛石薄膜的襯底表面涂覆一層含有鋰源的懸浮液，待干燥后將其放入熱絲化學氣相沉積系統的反應腔中，在氫氣氣氛中通過加熱使含有鋰源的粉末融化并使鋰擴散進入金剛石；然后進一步采用熱絲化學氣相沉積方法在含氮氣氛中沉積鋰氮共摻雜金剛石薄膜。該鋰氮共摻雜金剛石薄膜表面功函數低，在熱作用和電場作用下易發射電子，可用于熱電子能量轉換器件和場發射顯示器件。
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    “鋰氮共摻雜金剛石薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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