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    基于特氟龍材料緩沖層的新型寬帶鈮酸鋰電光調制器

    1067   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:06:32
    本發明公開了一種基于特氟龍材料緩沖層的新型寬帶鈮酸鋰電光調制器，自下而上依次包括：基底材料、光學波導、緩沖層、電極結構，所述緩沖層采用厚度為0.1um至5um的特氟龍材料，所述光學波導采用鈦擴散光學波導或退火質子交換光學波導，波導擴散寬度為1至20μm，擴散深度為1至20μm。本申請利用特氟龍材料的低介電常數特性，使鈮酸鋰寬帶電光調制器的工作帶寬得以進一步提高，提升了器件性能指標，并克服了當前鈮酸鋰脊型波導電光調制器存在的二氧化硅緩沖層需進行平坦化處理的工藝難點，降低了鈮酸鋰寬帶電光調制器的加工難度和成本，提升了產品合格率。
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    聲明：
    “基于特氟龍材料緩沖層的新型寬帶鈮酸鋰電光調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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