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    電子束熱蒸發制備鋰鑭鈦氧薄膜的方法

    905   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:11:26
    本發明屬鋰離子薄膜電池技術領域，具體為一種 鋰離子薄膜電池的固態電解質鋰鑭鈦氧薄膜(LLTO)的制備方 法。本發明采用電子束熱蒸發沉積法制備鋰鑭鈦氧薄膜，其特 點是薄膜的沉積面積大，沉積速率高，其鋰離子的離子導電率 可達2×10－7S/cm。結合射頻磁 控濺射制備的LiCoO2或 LiMn2O4陰極薄膜，射頻磁控濺射制備的鋰磷氧氮(LiPON)保護 層薄膜與真空熱蒸發制備的金屬鋰陽極薄膜，組裝成全固態薄 膜鋰電池。電池的比容量為 45mAh/cm2－μm和 24mAh/cm2－μm，循環次數可 達150次。這些結果表明：電子束熱蒸發方法制備LLTO固態 電解質薄膜，能應用于全固態薄膜鋰電池。
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