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    薄膜鈮酸鋰光波導與InP基光電探測器異質集成結構

    845   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:11:29
    本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰光波導與InP基光電探測器異質集成結構，該結構主要包括InP基光電探測器外延層、耦合層、薄膜鈮酸鋰光波導、緩沖層和襯底；InP基光電探測器外延層通過耦合層集成于薄膜鈮酸鋰光波導正上方，緩沖層和襯底依次分布于薄膜鈮酸鋰光波導下方；沿薄膜鈮酸鋰光波導傳輸至InP基光電探測器的光信號通過倏逝波耦合機制，從薄膜鈮酸鋰光波導透過耦合層先耦合進入其正上方的InP基錐形過渡區，再進入InP基光電探測器外延層，實現薄膜鈮酸鋰光波導與InP基光電探測器外延層片上異質集成，滿足薄膜鈮酸鋰光芯片和InP基光電探測器芯片的低損耗異質集成需求。
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    “薄膜鈮酸鋰光波導與InP基光電探測器異質集成結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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