本申請涉及傳感器的技術領域,尤其是涉及一種基于鈮酸鋰薄膜的片上集成三軸陀螺組件,其包括發光單元、鈮酸鋰薄膜芯片和尾纖單元;所述發光單元與所述鈮酸鋰薄膜芯片耦合,所述鈮酸鋰薄膜芯片與所述尾纖單元耦合;所述發光單元用于發射光波;所述鈮酸鋰薄膜芯片用于對所述光波進行分束、調制及探測;所述尾纖單元用于所述光波傳播。本申請具有減小三軸陀螺的體積的效果。
聲明:
“基于鈮酸鋰薄膜的片上集成三軸陀螺組件” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)