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    用于鋰電池的初晶態納米硅負極材料的制備方法

    909   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:12:58
    本發明提供一種用于鋰電池的初晶態納米硅負極材料的制備方法，包括以下步驟：選取導電薄膜材料，按照使用的等離子體增強化學氣相沉積(PECVD)設備的載具尺寸進行裁切作為襯底材料；對襯底進行氫等離子轟擊清洗；通入氫氣、硅烷等工藝氣體，設置合適的沉積工藝條件，在銅箔襯底上沉積制備200～1000nm厚度的初晶態納米硅負極材料。本發明提供的用于鋰電池的初晶態納米硅負極材料及其制備方法，采用光伏行業普遍采用的PECVD設備，制備的初晶態納米硅材料的厚度均勻性以及與襯底的附著性良好，作為鋰電池的負極材料，與傳統的石墨負極材料比較，可以大幅度提高鋰電負極的質量比容量等電性能指標。
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    加工技術
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