由多個層的堆疊來實施的鋰微電池的制造方法,所述多個層依次包括:由第一材料制成的第一層(11),由第二材料制成的第二層(12),固體電解質層(13)和第一電極(14)。該方法還包括蝕刻形成由第一材料制成的第一圖案(M1)以及由第二材料制成的第二圖案(M2),該第二圖案限定了該電解質層(13)的覆蓋區域(13”)以及非覆蓋區域(13’)。然后用第二圖案(M2)作為蝕刻掩模來蝕刻非覆蓋區域(13’)。在蝕刻該第一圖案(M1)之后,在第二圖案(M2)上形成了鋰基層,該鋰基層和該第二圖案形成了第二鋰基電極。
聲明:
“鋰微電池的制造方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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