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    用于鋰電池的納米氮化錫/硅負極材料及制備方法

    895   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:15:14
    本發明涉及鋰電池技術領域，具體涉及一種用于鋰電池的納米氮化錫/硅負極材料及其制備方法，所述用于鋰電池的納米氮化錫/硅負極材料的制備方法，包括以下步驟：（1）制備負載二氧化硅陣列的硅基底；（2）負載硅陣列的硅基底的制備；（3）將負載硅陣列的硅基底置于真空沉積室中，向沉積室中通入惰性氣體和氮氣，開啟偏壓電源，以錫靶位靶材，在負載硅陣列的硅基底上濺射沉積氮化錫薄膜，得到預產物；（4）向真空沉積室中通入氮氣，在200~300℃，對預產物進行等離子體刻蝕，得到用于鋰電池的納米氮化錫/硅負極材料。本發明的負極材料增加了Li離子脫嵌通道，同時細化晶粒，減少Li離子脫嵌過程中副反應產生，從而提高負極庫倫效率。
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