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    薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法

    1007   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:15:14
    本發明公開了一種薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法，其襯底材料為硅基薄膜鈮酸鋰，波導為鈮酸鋰脊形波導，其結構包括輸入輸出端口、馬赫曾德爾電光強度調制器、耦合雙環諧振器，馬赫曾德爾調制器包含2個1×2多模干涉耦合器、兩個調制臂和一個GSG電極，耦合雙環諧振器的兩個耦合區采用基于馬赫曾德爾干涉結構的耦合系數調諧單元，耦合區和腔內設置調控電極；射頻信號通過調制器加載到光載波上，后經過諧振器處理，輸出的信號通過輸出端輸出到探測器或者其他單元芯片，從而實現包括濾波、延時等的功能。本發明通過將電光調制器與微環諧振器集成，實現濾波與延時功能，且采用全硅基薄膜鈮酸鋰材料，擁有大帶寬、快速調諧的優勢。
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    聲明：
    “薄膜鈮酸鋰基集成芯片及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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