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    折疊式硅-鈮酸鋰混合集成電光調制器及其制備方法

    1054   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:18:38
    本發明公開了一種折疊式硅?鈮酸鋰混合集成電光調制器及其制備方法，包括硅基輸入波導，硅基光分路器，硅?鈮酸鋰波導耦合結構，第一條波導臂，第二條波導臂，硅基光合路器，硅基輸出波導，硅基波導交叉結構，三個電極；其中第一條波導臂、第二條波導臂均包括硅?鈮酸鋰波導耦合結構及兩條以上鈮酸鋰波導；第一條波導臂、第二條波導臂還包括硅基彎曲波導，硅基交叉結構；在光路轉彎前鈮酸鋰光波導中的光通過硅?鈮酸鋰波導耦合結構從鈮酸鋰波導中耦合到硅基光波導中，在硅基波導中實現光路的轉彎，并通過與硅基彎曲波導相連接的硅基交叉結構實現光路在波導中的轉換，本發明有利于實現調制器的小型化。
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