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    鈮酸鋰薄膜電光調制器及其制備方法

    964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:20:55
    本申請公開了一種鈮酸鋰薄膜電光調制器，所述鈮酸鋰薄膜電光調制器包括襯底晶片(1)、鈮酸鋰薄膜基板(2)、鈮酸鋰光波導(3)、鈮酸鋰薄膜內襯(4)、行波電極(5)、保護層(6)和引出電極(7)，通過改進一般設計中電光調制器中的行波電極結構，將金屬電極(5)部分區域覆蓋在刻蝕區域，部分覆蓋在鈮酸鋰薄膜內襯(4)上，在電極間距相同的情況下，增加了微波的有效折射率，從而實現波速匹配，提高電光調制器帶寬。本申請還提供一種鈮酸鋰薄膜電光調制器的制備方法，基于本方案中的行波電極結構，直接對鈮酸鋰薄膜進行刻蝕得到需要的波導結構，減小刻蝕區域，降低工藝難度和成本。
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    聲明：
    “鈮酸鋰薄膜電光調制器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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