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    低雜波鈮酸鋰薄膜聲表面波濾波器及其制備方法

    688   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:28:38
    本發明屬于濾波器技術領域，具體涉及一種低雜波鈮酸鋰薄膜聲表面波濾波器及其制備方法；該方法包括：支撐襯底、介質層、鈮酸鋰薄膜和叉指換能器；所述介質層包括介電薄膜層和預埋介電材料，預埋介電材料嵌入設置在鈮酸鋰薄膜內部且呈周期性分布，介電薄膜層設置在支撐襯底和鈮酸鋰薄膜之間，且介電薄膜層和預埋介電材料相鄰；本發明通過在壓電薄膜層即介電薄膜層中內埋介電材料，抑制雜波信號，降低寬帶單晶薄膜聲表面波濾波器通帶的雜波干擾，提升濾波器通帶平坦度，實現單晶薄膜聲表面波濾波器整體性能提升，實用性高。
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    “低雜波鈮酸鋰薄膜聲表面波濾波器及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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