本發明公開一種薄膜鈮酸鋰調制器,涉及光通信器件領域。該薄膜鈮酸鋰調制器包括光學結構和電學結構。光學結構基于X切薄膜鈮酸鋰材料,包括:輸入波導、分束器、波導臂、合束器、輸出波導;波導臂包含常規波導區和調制波導區。電學結構包括地?信號?信號?地電極組成的行波電極結構,包含信號輸入區、調制電極區、匹配電阻區,采用差分驅動。本發明的薄膜鈮酸鋰調制器利用差分驅動,提高了調制效率,減小了電壓?長度積,為調制器的小型化和高度集成化提供了解決方案。
聲明:
“薄膜鈮酸鋰調制器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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