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    質子交換鈮酸鋰漸變折射率分布的仿真方法

    1072   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:32:15
    本發明提出一種與質子交換工藝過程相適應的鈮酸鋰漸變折射率分布的仿真方法。本發明首先進行質子交換和退火工藝過程控制，構建鈮酸鋰質子交換模型框架，計算得到退火后波導所支持模式的有效折射率。構建以鈮酸鋰漸變折射率波導樣本的模式有效折射率和計算得到的相應模式有效折射率為基礎的評價函數，進行參數搜索匹配，建立符合自身工藝條件的鈮酸鋰質子交換模型，實現不同工藝條件下鈮酸鋰漸變折射率分布的準確仿真。本發明不需要額外的工藝步驟，可獲得基于自身研究條件下的晶體擴散參數，具有較高的準確性和針對性，克服了現有方案折射率分布重構過程的近似與不足，實現準確仿真質子交換鈮酸鋰漸變折射率分布及其光學特性的目的。
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