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    基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關反射式光濾波器

    825   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:32:20
    本發明公開了一種基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關反射式光濾波器，屬于集成光器件技術領域。包括：襯底，其材料為硅；埋氧層，其材料為二氧化硅；鈮酸鋰脊形波導，位于埋氧層之上；周期性二氧化硅包層，覆蓋于脊波導之上。本發明在X切鈮酸鋰薄膜上加工被二氧化硅包層周期性覆蓋的布拉格光柵結構，利用鈮酸鋰的雙折射特性實現偏振無關的反射式光濾波器。其中周期性二氧化硅包層制備步驟具有較大的工藝容差，器件制備僅需兩次光刻、無需套刻，制備工藝簡單。該器件可以與基于薄膜鈮酸鋰材料的調制器、諧振器等結構單片集成，構成在光信號處理芯片，在微波光子學和光通訊等領域有較好的應用前景。
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    “基于X切鈮酸鋰薄膜的偏振無關反射式光濾波器” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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    加工技術
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