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    電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法

    1028   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:33:03
    本發明公開一種電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法，包括以下步驟：S1、取20Ω的ITO鍍膜玻璃作為襯底；S2、將襯底裝入樣品架，送入磁控濺射鍍膜腔室；以鉭酸鋰靶為靶材；S3、對磁控濺射鍍膜腔室抽真空，當真空度達到10?6Pa時，對襯底進行100～200℃的加熱處理；S4、向磁控濺射鍍膜腔室內通入氬氣，開啟射頻電源，使靶材起輝；然后打開直流電源，在射頻與直流的耦合過程中對靶材進行預濺射；S5、預濺射完畢后通入氧氣，通過磁控濺射沉積鉭酸鋰薄膜；S6、待樣品架自然冷卻至室溫后，取出襯底，得到鉭酸鋰薄膜；該方法制備得到的鉭酸鋰薄膜可控性、重復性強，提升膜系的整體性能。
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    “電致變色膜系中的鉭酸鋰薄膜的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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