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    大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片邊緣加工方法

    1177   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:34:05
    本發明公開了一種大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片邊緣加工方法。包括：采用邊緣倒角對晶片邊緣加工成R型角；采用硝酸和氫氟酸的混合溶液對鈮酸鋰晶片進行化學腐蝕；將腐蝕后的晶片層疊在邊緣拋光夾具內，采用水松皮紙間隔晶片；將層疊好的晶片進行邊緣粗拋光加工，所采用的拋光液由水，二氧化硅，乙二胺四乙酸鹽，氧化半胱氨酸，三聚磷酸鈉組成的混合溶液；將邊緣粗拋光好的晶片進行邊緣精拋光加工，所采用的精拋光液由水，二氧化硅，亞甲基二膦酸，異白氨酸，三乙基己基磷酸組成的混合溶液最終可以得到一種大尺寸超薄鈮酸鋰晶片，邊緣光潔高，真圓度好，良率高。
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    “大尺寸超薄高精度鈮酸鋰晶片邊緣加工方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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