本發明涉及多層結構鋰金屬電極及其制造方法,具體地,涉及包含如下的多層結構鋰金屬電極:在鋰金屬板上形成的氮化鋰(Li3N)的緩沖層;和在所述緩沖層上形成的LiBON的保護層,并且涉及多層結構鋰金屬電極的制造方法,所述方法通過利用連續的反應性濺射,在鋰金屬板上連續形成氮化鋰緩沖層和LiBON保護層而進行。通過形成所述保護層,本發明的多層結構鋰金屬電極可以保護鋰金屬的反應性免受水分或電池內環境的損害,并且防止枝晶的形成。另外,緩沖層的形成防止由在保護層形成過程中在鋰金屬板上形成的氧化物層引起的離子傳導性的劣化。
聲明:
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