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    鈮酸鋰晶體化學機械拋光后的應力控制方法

    903   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:35:39
    本發明涉及鈮酸鋰(LiNbO3)晶體化學機械拋光(CMP)后,鈮酸鋰晶體表面的應力控制方法。本發明鈮酸鋰晶體CMP后應力控制方法,CMP剛剛完成后清洗時,采用逐漸慢慢加大水拋清洗液流量,充分釋放鈮酸鋰晶體表面的熱應力,達到鈮酸鋰晶體內外熱應力一致,從而有效地避免了鈮酸鋰晶體清洗過程中易產生開裂、碎晶的問題發生,完美實現了鈮酸鋰晶體CMP后的應力控制,大大提高了鈮酸鋰晶體因開裂、碎晶導致的加工良率。
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