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    三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法

    889   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:35:40
    本申請涉及半導體集成光電子器件技術領域，提供一種三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法，應用于模斑轉化。本申請在二維楔形波導的基礎上，利用光刻膠存在自身消耗的特性，通過控制光刻膠厚度和刻蝕時間，使得刻蝕過程中光刻膠在楔形尖端先被完全消耗掉，露出鈮酸鋰層，再受到上方刻蝕氣體的作用，從而實現垂直方向上波導厚度的減小。由于光刻膠完全消耗所需時間與波導寬度成正比，因此楔形尖端的光刻膠最先被消耗，波導厚度最小，隨著波導寬度增大，波導厚度也相應增大，最終形成一個三維楔形波導結構。本申請利用光刻膠掩膜存在自身消耗的特性，按照傳統干法刻蝕工藝即可制備出三維楔形薄膜鈮酸鋰波導，更進一步地提高了纖芯耦合效率。
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    聲明：
    “三維楔形鈮酸鋰薄膜波導的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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