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    基于鈮酸鋰薄膜的可調諧FP濾光片

    972   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
    2023-03-18 21:36:50
    本發明屬于薄膜窄帶濾光片技術領域，具體涉及一種基于鈮酸鋰薄膜的可調諧FP濾光片，包括：襯底、第一金屬層、電光可調諧鈮酸鋰薄膜通光層、第二金屬層，通過控制所述第一金屬層和第二金屬層之間的電壓，可以調節所述可調諧濾波器的本發明的可調諧FP濾光片的中心波長。本發明采用的鈮酸鋰薄膜作為光學干涉薄膜中半波共振腔的腔體材料，其具有較寬的透光窗口、較高的電光系數以及較好的溫度穩定性，可以大幅降低窄帶可調諧濾波器的光學損耗，同時實現中心波長的可調諧。本發明可以有效改善現有MEMS熱光調諧濾波器存在的光損耗大，調諧速度慢、溫度敏感等問題，在光傳感領域具有良好的應用前景。
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    聲明：
    “基于鈮酸鋰薄膜的可調諧FP濾光片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
    我是此專利(論文)的發明人(作者)
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